帶磁控靶的金屬鍍膜裝置MSP-mini的使用優勢
產品特點
●用一個按鈕自動涂層。沒有任何繁瑣的操作。
●去除所有贅肉的高性價比機。我是MSP-1S的弟弟。
●小型目標(φ30mm)。實現低運行成本。
●標準附帶Au靶。在桌上SEM的預處理中發揮實力。
●可選靶Ag膜光澤優良,透明材料表面的光學顯微鏡觀察
使揣測變得容易。
●低施加電壓下離子損傷
產品檢測優勢
本設備是一種帶磁控靶的金屬鍍膜設備。當用光學顯微鏡(Ag 靶)觀察透明材料的表面或用電子顯微鏡(Au/Ag 靶)在少量樣品上涂導電膜時使用。
★MSP-mini是桌上SEM觀察·光學顯微鏡用離子濺射成膜裝置。
★為了將小面積的試樣涂布時的浪費最小化,小面積靶(φ30mm)。
★樣品臺是直接放置滑動玻璃的平面樣品臺。
★低電壓涂層,即使是敏感的樣品也幾乎沒有樣品損傷。
★用1個按鈕全自動進行排氣、涂層、泄漏。
★目標金屬是金(Au)標準??蛇x的銀。
★排氣系統采用外置RP5升/min。
★使用輔助試料臺(可選),可提高涂布率,提高效率可以成膜。
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