磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測(cè)示例分析
發(fā)布日期:2022-11-30 瀏覽次數(shù):507
磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測(cè)示例分析
Au:金
觀察區(qū)域:幾千到10,000倍
Au-Pd:金鈀
觀察區(qū)域:10,000到50,000倍
適合低倍觀察,對(duì)比度好。
Pt:鉑
觀察面積:50000~100000倍
Pt--Pd:鉑鈀
觀察面積:30000~50000倍
粒徑細(xì),常用于高倍觀察。
相關(guān)產(chǎn)品特點(diǎn)
●磁控型濺射,采用較低外加電壓減輕樣品的離子損傷。
●真空度調(diào)節(jié):適合磁控離子濺射的真空度是 6-8Pa,MSP-1S 通 過機(jī)械泵抽泣與泄露閥漏氣的平衡,使樣品倉(cāng)自動(dòng)保持在適合的真空度范圍內(nèi),不需要手動(dòng)做壓力調(diào)整。
●浮動(dòng)樣品臺(tái)設(shè)計(jì):樣品臺(tái)是浮動(dòng)型并與樣機(jī)電機(jī)絕緣,可讓電子 不通過樣品而使溫度上升很少。
●占地面積:臺(tái)式設(shè)計(jì),內(nèi)置機(jī)械泵,只需要有 20cm×40cm 的占 地面積,重量只有 14.6Kg。