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Profilm3D 3D 表面形狀測量系統(tǒng)使用示例

  • 發(fā)布日期:2021-10-11      瀏覽次數(shù):1314
    • Profilm3D 3D 表面形狀測量系統(tǒng)使用示例

      它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng),可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。

      Profilm 3D 適用于測量小樣品,涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
      各種測量模式,包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內(nèi)的一切都是標準設(shè)備,包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

      主要特點

      • 低價!
        在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價

      • 納米級高分辨率
        采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率

      • 全標準設(shè)備
        XY自動載物臺,手動左輪,自動光強調(diào)節(jié),自動對焦功能

      • 緊湊的外殼
        主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計。

      • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設(shè)備即可
        測量臺階測量和粗糙度測量

      • 操作
        簡單 基本操作只是簡單的鼠標操作

      • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
        標準 ISO25178

      • 可擴展性
        多種物鏡選擇,數(shù)據(jù)拼接功能

      主要應(yīng)用

      半導(dǎo)體晶圓凸塊、CMP焊盤等
      醫(yī)療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
      安裝板銅線、凸點、透鏡等

      規(guī)格

      測量規(guī)格

       

       垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)相移干涉測量 (PSI)
      測量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
      準確性0.7%——
      再現(xiàn)性0.1%——
      反射范圍0.05% – 99%0.05% – 99%

       

      設(shè)備規(guī)格

      XY自動載物臺100mm x 100mm
      Z軸驅(qū)動范圍100mm
      壓電驅(qū)動范圍500微米
      掃描速度12微米/秒
      相機2592 x 1944(500 萬像素)
      體重15公斤

       

      物鏡規(guī)格

       5次 10倍20次50次 百倍
      視野4.0 x 3.4 毫米 2.0 x 1.7 毫米1.0 x 0.85mm0.4 x 0.34mm 0.2 x 0.17mm
      鏡頭分辨率 2.1微米0.92微米 0.69 微米 0.5微米 0.4微米 


      湊、更便宜。

    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流