適用鎳,鉻,鎢,鈦,鋁等金屬涂布的實驗涂布機
特征
應用/結果示例
基本規格
陰極 | φ2英寸直流磁控管/平板型電極 |
適用對象 | 金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁 |
壓力測量 | 皮拉尼真空計 |
壓力控制 | 針閥手動控制 引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝 |
工藝氣體 | 氬氣 |
真空泵 | 直聯式旋轉泵:20L / min(帶自動泄漏) |
箱體尺寸 | 內徑φ90×D90mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身:160/450 / 290mm RP:295.5 / 156 / 199.5mm |
重量 | 身體:9公斤RP:9公斤 |
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