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vaclab霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑AG-NEG泵介紹
由于NEG粉末是采用非接觸霧化方法制造的，因此它是真正的球形/高純度。由于僅將粗顆粒粉末放入細(xì)絲網(wǎng)容器中并在不凝固的情況下進(jìn)行操作，因此抽速高、穩(wěn)定且無粉塵。
■粉末顆粒形狀為的球形
■無塵
■低自釋氣（XHV用）
■高CO抽速
■ZrVFe三元合金粉末
■通過圓盤數(shù)量調(diào)節(jié)抽速（100至500 L/s） ■
通過延長盤間距離分配泵*2
■護(hù)套加熱器和熱電偶可自由裝卸（大氣側(cè)）
■自由安裝方向
■無振動、無帶電粒子、無電力（運(yùn)行時）
| 物品 | ICF70系列 |
| 磁盤大小 | Φ30 ×高4毫米 |
| 1 張光盤中填充的 NEG 量 | 5.5克 |
| 1盤抽速 | H 2 =18，CO=20，N 2 =7L/s |
| 抽速 (H 2 ) | 100～500L/s |
| 加熱管 | ?" 鉻鎳鐵合金或 SUS316 |
| 激活條件 | 450℃×30分鐘 |
| 兼容法蘭 | ICF070 (SUS316L) |
| 泵總高度 | 100-300毫米 |
| 重量 | 450～600克 |
*1 加熱器/TC 可延長至 4 m。
■霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑（AG-NEG）泵是一種新形式的NEG粉末，采用新技術(shù)非接觸霧化方法制造，無需壓縮和固化粉末即可作為粉末（顆粒）使用。非蒸發(fā)吸氣劑 (NEG) 泵。NEG 粉末是的球形，具有極其穩(wěn)定的表面，可實現(xiàn)高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑穩(wěn)定，因此再抽真空時從表面層釋放的自體氣體極少，非常適合UHV/XHV發(fā)電。由于我們使用顆粒狀較大的NEG粉末，粒徑為100~200μm，因此可以薄薄地密封在襯有細(xì)絲網(wǎng)的圓盤形傳熱容器中，無需擔(dān)心NEG粉末的散射。此外，NEG粉末是通過中央加熱管（常壓側(cè)）的傳導(dǎo)加熱來活化的，因此活化過程中散發(fā)的輻射熱也很少。
■與傳統(tǒng)NEG泵的差異
為了使用NEG合金作為吸氣泵，需要增加氣體分子的吸附表面積，并且將NEG金屬粉化是必要的。傳統(tǒng)NEG泵中使用的NEG粉末是通過以下方法生產(chǎn)的：機(jī)械粉碎錠，收集粉末，然后（1）使用共晶工藝將其薄薄地附著到含Ni的金屬帶上，或（2）少量生產(chǎn)等方法。添加碳并壓制成丸狀，(3)混合鋯金屬粉末，真空燒結(jié)。由于這個原因，粉末的形狀是隨機(jī)的，并且有很多突起（這就是它能夠固化的原因），并且粒度分布很寬，從幾μm到幾百μm，使得NEG粉塵不可避免地使用時會剝落。另外，由于粉末經(jīng)過一次粉碎，然后再次固化，導(dǎo)致粉末的實際表面積減少，這也造成NEG成本的增加。
另一方面，采用霧化法生產(chǎn)的NEG粉末粒徑分散度小，且呈球形，因此其作為NEG的穩(wěn)定性大大提高。另一方面，顆粒之間很難結(jié)合，因此不可能構(gòu)造出像傳統(tǒng)粉末一樣壓縮和固化的泵。我們改變思路，不再將NEG粉末固化，而是將其放入網(wǎng)孔小于粉末粒徑的絲網(wǎng)容器中，以防止粉末飛散。因此，我們成功開發(fā)了一種穩(wěn)定、低成本、無塵的 NEG 泵，每克 NEG 粉末具有很高的抽速。
■AG-NEGポンプの性能は、下図に示した様な評価裝置で調(diào)べることができます。H2はNEGのバルク中に拡散するので、排気を続けても排気速度の低下は殆ど起こりませんが、COやN2は排気が進(jìn)むとNEGの表面を覆い、排気速度が落ちてきます（再活性で初期値に戻る）。このためNEGの性能を表す排気速度S のグラフは、橫軸にどれだけガスを吸著したかを示す排気積算値Qt (m3?Pa)を取り、縦軸に排気速度S(L/s)を取るのが慣例になってます。
しかし、UHV/XHV領(lǐng)域では、COやN2による劣化は殆ど進(jìn)みませんので、橫軸を通常圧(Pa)で表示した方が特性解釈がし易いので、弊社では通常圧で表示するようにしてます。ただ、S1=C[(P2-P2u)/(P1-P1u) -1] , P1u, P2u：達(dá)到的真空，人們常常錯誤地認(rèn)為用NEG泵可以達(dá)到10 -11 Pa或更低的真空，因此不減去所達(dá)到的真空的有效抽速的公式為S 2 = C ( P 2 / P還包括1-1 ) 中獲得的曲線，并用作可通過 NEG 實現(xiàn)的真空的指南。下圖所示的AG-NEG的抽速是5個圓盤的特性，但即使增加圓盤的數(shù)量，也能得到近似正比的抽
速曲線。
