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vaclab霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑AG-NEG泵介紹

  • 發(fā)布日期:2024-06-21      瀏覽次數(shù):274
    • vaclab霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑AG-NEG泵介紹

      由于NEG粉末是采用非接觸霧化方法制造的,因此它是真正的球形/高純度。由于僅將粗顆粒粉末放入細(xì)絲網(wǎng)容器中并在不凝固的情況下進(jìn)行操作,因此抽速高、穩(wěn)定且無粉塵。

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      AG-NEG泵的特點(diǎn)

      ■粉末顆粒形狀為的球形
      ■無塵
      ■低自釋氣(XHV用)
      ■高CO抽速
      ■ZrVFe三元合金粉末
      ■通過圓盤數(shù)量調(diào)節(jié)抽速(100至500 L/s) ■
      通過延長盤間距離分配泵*2
      ■護(hù)套加熱器和熱電偶可自由裝卸(大氣側(cè))
      ■自由安裝方向
      ■無振動、無帶電粒子、無電力(運(yùn)行時)

      AG-NEG泵主要規(guī)格

      物品ICF70系列
      磁盤大小Φ30 ×高4毫米
      1 張光盤中填充的 NEG 量5.5克
      1盤抽速H 2 =18,CO=20,N 2 =7L/s
      抽速 (H 2 )100~500L/s
      加熱管?" 鉻鎳鐵合金或 SUS316
      激活條件450℃×30分鐘
      兼容法蘭ICF070 (SUS316L)
      泵總高度100-300毫米
      重量450~600克


      *1 加熱器/TC 可延長至 4 m。

      什么是AG-NEG泵?

      ■霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑(AG-NEG)泵是一種新形式的NEG粉末,采用新技術(shù)非接觸霧化方法制造,無需壓縮和固化粉末即可作為粉末(顆粒)使用。非蒸發(fā)吸氣劑 (NEG) 泵。NEG 粉末是的球形,具有極其穩(wěn)定的表面,可實現(xiàn)高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑穩(wěn)定,因此再抽真空時從表面層釋放的自體氣體極少,非常適合UHV/XHV發(fā)電。由于我們使用顆粒狀較大的NEG粉末,粒徑為100~200μm,因此可以薄薄地密封在襯有細(xì)絲網(wǎng)的圓盤形傳熱容器中,無需擔(dān)心NEG粉末的散射。此外,NEG粉末是通過中央加熱管(常壓側(cè))的傳導(dǎo)加熱來活化的,因此活化過程中散發(fā)的輻射熱也很少。

      ■與傳統(tǒng)NEG泵的差異
      為了使用NEG合金作為吸氣泵,需要增加氣體分子的吸附表面積,并且將NEG金屬粉化是必要的。傳統(tǒng)NEG泵中使用的NEG粉末是通過以下方法生產(chǎn)的:機(jī)械粉碎錠,收集粉末,然后(1)使用共晶工藝將其薄薄地附著到含Ni的金屬帶上,或(2)少量生產(chǎn)等方法。添加碳并壓制成丸狀,(3)混合鋯金屬粉末,真空燒結(jié)。由于這個原因,粉末的形狀是隨機(jī)的,并且有很多突起(這就是它能夠固化的原因),并且粒度分布很寬,從幾μm到幾百μm,使得NEG粉塵不可避免地使用時會剝落。另外,由于粉末經(jīng)過一次粉碎,然后再次固化,導(dǎo)致粉末的實際表面積減少,這也造成NEG成本的增加。
      另一方面,采用霧化法生產(chǎn)的NEG粉末粒徑分散度小,且呈球形,因此其作為NEG的穩(wěn)定性大大提高。另一方面,顆粒之間很難結(jié)合,因此不可能構(gòu)造出像傳統(tǒng)粉末一樣壓縮和固化的泵。我們改變思路,不再將NEG粉末固化,而是將其放入網(wǎng)孔小于粉末粒徑的絲網(wǎng)容器中,以防止粉末飛散。因此,我們成功開發(fā)了一種穩(wěn)定、低成本、無塵的 NEG 泵,每克 NEG 粉末具有很高的抽速。

      ■AG-NEGポンプの性能は、下図に示した様な評価裝置で調(diào)べることができます。H2はNEGのバルク中に拡散するので、排気を続けても排気速度の低下は殆ど起こりませんが、COやN2は排気が進(jìn)むとNEGの表面を覆い、排気速度が落ちてきます(再活性で初期値に戻る)。このためNEGの性能を表す排気速度S のグラフは、橫軸にどれだけガスを吸著したかを示す排気積算値Qt (m3?Pa)を取り、縦軸に排気速度S(L/s)を取るのが慣例になってます。
      しかし、UHV/XHV領(lǐng)域では、COやN2による劣化は殆ど進(jìn)みませんので、橫軸を通常圧(Pa)で表示した方が特性解釈がし易いので、弊社では通常圧で表示するようにしてます。ただ、S1=C[(P2-P2u)/(P1-P1u) -1] , P1u, P2u:達(dá)到的真空,人們常常錯誤地認(rèn)為用NEG泵可以達(dá)到10 -11 Pa或更低的真空,因此不減去所達(dá)到的真空的有效抽速的公式為S 2 = C ( P 2 / P還包括1-1 ) 中獲得的曲線,并用作可通過 NEG 實現(xiàn)的真空的指南。下圖所示的AG-NEG的抽速是5個圓盤的特性,但即使增加圓盤的數(shù)量,也能得到近似正比的抽
      速曲線。


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