適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源
空氣冷卻緊湊型準(zhǔn)分子燈單元,光長160mm,專為VUV 172波長的照射而設(shè)計(jì),具有簡單的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)低溫精密處理。
緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm光源型號E500-172-160
與 6" 晶圓和掩模基板兼容的燈。其特點(diǎn)包括簡單緊湊的結(jié)構(gòu)、高度可靠的空氣冷卻以及無需更換燈管的長壽命準(zhǔn)分子燈。 *1 電源為 AC100V。
特點(diǎn) 長壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無需更換燈管
本來,準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極,因此理論上它們被認(rèn)為是長壽命燈,在國外有時(shí)被稱為準(zhǔn)分子燈。然而,如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形,往往導(dǎo)致燈管壽命較短,從而導(dǎo)致成本較高。
*1 根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)和結(jié)果,Excimer Co., Ltd. 的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件作為維護(hù)的一部分,但無需更換昂貴的燈管本身。我們實(shí)現(xiàn)了低成本和高可靠性。
特征
風(fēng)冷式,安裝方便。
燈管燈長160mm
電源 AC100V 50/60Hz
瞬時(shí)開/關(guān)燈功能。
適合研究和開發(fā)。
應(yīng)用領(lǐng)域
表面潤濕性和改性
光化學(xué)
反應(yīng)性O(shè)H自由基過程
抗蝕劑去除
UV O3工藝
規(guī)格
波長 | 172納米 |
燈長 | 160毫米(燈箱型) |
功能 | 立即開/關(guān)燈 |
燈箱尺寸(燈箱類型) | 寬200×高45×深80毫米 |
電源尺寸(燈箱類型) | 寬250×高140×深200毫米 |
力量 | 交流100V 60Hz 1A |
奧普廷斯 | 臭氧過濾器、工藝氣體供應(yīng)裝置 |
*由于采用緊湊型風(fēng)冷設(shè)計(jì),連續(xù)點(diǎn)亮?xí)r間在10分鐘以內(nèi)。