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半導體行業用露點檢測設備的選擇

  • 發布日期:2024-02-20      瀏覽次數:353
    • 半導體行業用露點檢測設備的選擇

      半導體芯片對現代社會的重要性不言而喻,是支持5G,物聯網,AI,自動駕駛汽車,智能穿戴等市場發展的關鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密,制造工藝要求也越來越精細,更嚴格的規范和生產誤差。反過來,這將更加依賴于監測和控制工藝條件的傳感器和儀器性能,盡可能降低減產或整批晶圓報廢的風險。

      被稱為半導體“血液"的電子氣體是芯片制造業不可缺的,它參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等各個環節。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等,隨著芯片制造工藝的小型化,半導體生產對電子氣體的純度提出了更高的要求。

      在半導體制造中,水一直是影響較大的污染物之一,統計顯示,不符合工況要求的水分造成的損失占損失的 25%。為避免產品質量和產量出現問題,在半導體制造過程中必須尤為謹慎地監測濕度和溫度水平。如濕度是硅晶圓生產過程中關鍵的因素,如果空氣太干燥,靜電就會成為問題。

      氣體中的露點測量是一個挑戰,以99.9999%的高純氮氣為例,其水分含量低于1ppm,也就是100萬個氣體分子中, 不到1個水分子。如此微量的水分子含量, 對濕度傳感器的靈敏度和準確性都是一個真正的考驗。在過往,高精度的水分儀往往伴隨著高成本,而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發,在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

      TK-100在線露點儀


      電容式露點儀水分儀TK-100


      特征

      • 國內開發、國內制造、國內校準

      • 露點測量范圍-100至+20℃dp

      • 精度±2℃dp

      • 高響應速度

      • 有競爭力的定價體系

      • 交貨快捷

      • 完善的支持體系

      • 可追溯至國家標準

      主要用途

      • 手套箱內的露點控制

      • 干燥機露點檢查

      • 熱處理爐內氣氛控制

      • 潔凈室和干燥室的露點管理

      • 氣體純度控制

      • 天然氣水分管理

      • 半導體制造設備

      • 有機EL制造


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