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excimer紫外線172nm準分子燈的特性及應用

  • 發布日期:2024-01-10      瀏覽次數:736
    • excimer紫外線172nm準分子燈的特性及應用

      在工業應用中,常用的準分子波長是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解有機分子的所有主要鍵,但碳和氧 (C=O) 之間的鍵和一些無機氧化物之間的鍵除外。這使其成為表面改性、光清洗、光固化的選擇。

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      適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

      風冷緊湊型準分子燈單元,燈長160mm,該單元專為VUV 172波長的照射而設計,系統結構簡單,具有低成本、高性能的特點,準分子UV燈可實現低溫精密處理。

      緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點是簡單緊湊、高可靠性風冷型、無需更換燈管的長壽命準分子燈。*1電源為AC100V。


      特點 

      長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

          本來,準分子紫外線燈的結構是燈泡內部沒有電極,因此理論上它們被認為是長壽命燈,在國外有時被稱為準分子燈。然而,如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形,往往導致燈管壽命較短,從而導致成本較高。

      根據多年的現場經驗,Excimer Co., Ltd.的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件,但不需要更換內部電極。燈管本身,實現低成本和高可靠性。*1

      特征

      • 風冷方式,安裝方便。

      • 燈管燈長160mm

      • 電源 AC100V 50/60Hz

      • 瞬時開/關燈功能。

      • 適合研究和開發。

      應用領域

      • 表面潤濕性和改性

      • 光化學

      • 反應性OH自由基過程

      • 抗蝕劑去除

      • UV O3工藝

      image.png

      準分子燈功能應用

      1、增加表面能量和親水性

      準分子輻射通過增加表面能來“激活"表面,表面能以每米毫牛頓 (mN/m) 為單位。表面能決定了流體和固體表面之間的接觸角。準分子光清洗作為其他清洗設備對表面處理的替代品,準分子的冷光極大減少了類似紅外線等產生的多余熱量。這種降低的熱負荷意味著不會損壞基材表面結構,從而保證更好的粘接結果為了確保附著力和均勻分布。例如在印刷和粘合等應用中,需要實現更小的接觸角,提高清潔度。


      圖片

      雖然聚合物和其他復合材料的表面輻照可能是準分子常用的用途,但這種處理也幾乎適用于任何表面。將準分子技術應用于硅晶片、金屬和玻璃時,清潔、涂層和粘合也可以得到顯著改善。

      圖片

      圖表展示了玻璃、礦物和聚合物類型的例子,可以使用準分子技術結合。

      粘合優勢分析:√強/極  ○弱

      2、更廣泛的應用范圍

      在某些情況下,可以實現親水化,其中整個表面變得潤濕。此時,液體的接觸角達到零度,將液滴轉化為液膜。目前,準分子燈正用于生態學、光化學、光生物學、醫學、物理學、微電子學以及包括智能制造工業在內的各種工業分支等等。

      圖片

      圖:銅、鋁、硅的在準分子燈照射下接觸角變化



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