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半導體生產過程中露點儀的選擇

  • 發布日期:2023-12-17      瀏覽次數:372
    • 半導體生產過程中露點儀的選擇

      半導體芯片對現代社會的重要性不言而喻,是支持5G,物聯網,AI,自動駕駛汽車,智能穿戴等市場發展的關鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密,制造工藝要求也越來越精細,更嚴格的規范和生產誤差。反過來,這將更加依賴于監測和控制工藝條件的傳感器和儀器性能,盡可能降低減產或整批晶圓報廢的風險。

      被稱為半導體“血液"的電子氣體是芯片制造業*,它參與蝕刻、清洗、外延生長、離子注入等各個環節。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等,隨著芯片制造工藝的小型化,半導體生產對電子氣體的純度提出了更高的要求。

      氣體中的露點測量是一個挑戰,以99.9999%的高純氮氣為例,其水分含量低于1ppm,也就是100萬個氣體分子中, 不到1個水分子。如此微量的水分子含量, 對濕度傳感器的靈敏度和準確性都是一個真正的考驗。在過往,高精度的水分儀往往伴隨著高成本,而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發,在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。

      TK-100在線露點儀

      過去 40 年來,Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測量設備(主要是露點計)。電容式(阻抗式)露點儀TK-100系列是Techne測量有限公司的主打產品,用于測量露點或水分含量。
      TK-100在線露點儀是TK-100變送器、監視器和傳感器電纜的一套,因此您可以輕松開始測量露點。

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      特征

      • 國內開發、國內制造、國內校準

      • 露點測量范圍-100至+20℃dp

      • 精度±2℃dp

      • 高響應速度

      • 有競爭力的定價體系

      • 交貨快捷

      • 完善的支持體系

      • 可追溯至國家標準

      主要用途

      • 手套箱內的露點控制

      • 干燥機露點檢查

      • 熱處理爐內氣氛控制

      • 潔凈室和干燥室的露點管理

      • 氣體純度控制

      • 天然氣水分管理

      • 半導體制造設備

      • 有機EL制造



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