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Autocrater拋光機(jī)的原理分析

  • 發(fā)布日期:2023-11-15      瀏覽次數(shù):483
    • Autocrater拋光機(jī)的原理分析

      Autocrater可以通過(guò)用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學(xué)顯微鏡測(cè)量拋光痕跡的長(zhǎng)度來(lái)測(cè)量薄膜厚度。

      image.png

      ■無(wú)需樣品制備

      無(wú)需進(jìn)行切割、拋光或樹(shù)脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
      可以按原樣測(cè)量沉積的樣品。

      ■可評(píng)估多層膜

      各層的膜厚可以通過(guò)化學(xué)處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來(lái)評(píng)價(jià)。

      ■應(yīng)用實(shí)例

      TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層膜

      本試驗(yàn)機(jī)根據(jù)磨痕長(zhǎng)度測(cè)量結(jié)果,采用ISO20423《弧坑磨削法測(cè)定涂層厚度》中規(guī)定的計(jì)算方法計(jì)算涂層厚度。此外,為了用該測(cè)試儀測(cè)量薄膜厚度,您將需要一個(gè)單獨(dú)的顯微鏡來(lái)測(cè)量拋光痕跡的長(zhǎng)度。

      測(cè)量原理及規(guī)格
      首先,滴下金剛石漿料,并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面。接下來(lái),觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并
      測(cè)量上圖中 X 和 Y 之間的距離。
       


      根據(jù)測(cè)量的長(zhǎng)度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑,根據(jù)上式計(jì)算膜厚度。

      ●規(guī)格
      ◆軸轉(zhuǎn)速:100~3,000rpm
      ◆可設(shè)定旋轉(zhuǎn)時(shí)間:1秒~60分鐘
      ◆最大樣品尺寸:φ40mm

      *可選配亞克力蓋。

      消耗品

      金剛石漿料和球

      日本球SUJ2材質(zhì)φ20mm
      日本球SUJ2材質(zhì)φ30mm
      金剛石漿料粒徑1.0μm(100cc)

      *純國(guó)產(chǎn)(日本制造)Nanotech制造

      Autocrater 測(cè)量示例

      TiN 涂層測(cè)試件

      • 球直徑:30 mm
      • 電機(jī)轉(zhuǎn)速:400 rpm
      • 測(cè)試時(shí)間:30 秒
      • 漿料類型:金剛石漿料 1.0 µm



    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流