lintec小型氣體換熱器的特點及產品介紹
各種流體加熱
可靠的渣滓加熱
質量流量控制器后氣體加熱
SUS316L加熱塊可防止加熱器與流體直接接觸,從而可以瞬時加熱不會腐蝕SUS316L的流體。
在管道中流動的氣態流體很難輕易加熱和冷卻。
通常,管道中的流體加熱通過帶式加熱器從管道外部加熱,但從外部加熱使熱量難以傳遞到中心。 熱交換器 (HX) 可以立即將氣體加熱到流體中,從而實現可靠的流體加熱。
在半導體制造過程中,不僅需要加熱氣體,還需要以受控的流速加熱氣體。 因此,為了使用燃氣加熱器初級側的質量流量控制器控制流量,需要級聯加熱器(二次側)的低壓降。 質量流量控制器制造商 (LINTEC) 的氣體加熱器 (HX) 具有低壓降結構。
小型燃氣加熱器 [HX-0020]
最大流量:10SLM
最高:200°C
高溫換熱器 [HX-0051H]
最大流量:20SLM
最高:300°C
小型換熱器 [HX-0050A]
最大流量:50SLM
最高:200°C
高溫換熱器 [HX-100C]
最大流量:100SLM
最高:300°C
高溫燃氣加熱器 [HX-301L]
最大流量:250SLM
最高:300°C
高流量換熱器 [HX-300C]
最大流量:300SLM
最高:250°C
加熱過濾器 [VF-0201N]
最高:200°C
過濾器 0.1μm
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