亚洲AV无码乱码在线观看,不卡,国产精品毛片AV久久66,亚洲精华国产精华精华液好用,97超级碰碰碰免费公开在线观看

產(chǎn)品展示
PRODUCT DISPLAY
技術(shù)支持您現(xiàn)在的位置:首頁 > 技術(shù)支持 > 半導(dǎo)體模塊生產(chǎn)線通用化學(xué)循環(huán)系統(tǒng)技術(shù)

半導(dǎo)體模塊生產(chǎn)線通用化學(xué)循環(huán)系統(tǒng)技術(shù)

  • 發(fā)布日期:2023-05-29      瀏覽次數(shù):462
    • 半導(dǎo)體模塊生產(chǎn)線通用化學(xué)循環(huán)系統(tǒng)技術(shù)

      在半導(dǎo)體模塊制造過程中,生產(chǎn)過程中的溫度控制是影響器件質(zhì)量和性能特征以及精細度和小型化的重要因素。

      清潔和溫度控制

      RCA 清潔技術(shù)用于清潔半導(dǎo)體晶圓和 FPD(平板顯示器)已有 30 多年的歷史。 在此清洗過程中,需要對清洗介質(zhì)液體進行高精度的溫度控制控制。

      利用我們40多年的溫度控制經(jīng)驗,我們使用PID型熱模塊(帕爾貼)控制器,加熱器控制器,鹵素加熱器控制器等提供恒溫(精度為1/10°C)的恒溫(±精度為<>/<>°C)循環(huán)流體系統(tǒng)。 下面介紹一下蘇阿庫拉特系統(tǒng)提供的元素技術(shù)背景。

      RCA 清潔技術(shù)

      RCA清洗用于用NH4OH(氫氧化銨)和HC l(鹽酸)和H2O2( SC-1用過氧化氫水溶液洗滌),然后用HCl(鹽酸)和H 2 O 2的水溶液洗滌SC-2。 兩者都通過將晶圓浸入溫度為75~80°C的熔融石英容器中來洗滌。 SC-1清洗具有溶解和去除有機物和剝離不溶性顆粒的作用。 此外,SC-2清洗具有去除金屬離子污染物的作用。 這種RCA清洗已成為半導(dǎo)體清洗方法的標(biāo)準(zhǔn),并已被世界各地的半導(dǎo)體制造商廣泛使用超過40年。

      未來的晶圓清洗技術(shù)“純水/微氣泡循環(huán)液"

      通過在用于恒溫循環(huán)液體的循環(huán)泵中增加微氣泡發(fā)生系統(tǒng),我們提供了一種可以取代傳統(tǒng)RCA清潔技術(shù)的技術(shù)。

      半導(dǎo)體(集成電路)也被稱為工業(yè)大米,可以說是支撐現(xiàn)代社會最重要的電子元件。 在這種生產(chǎn)中,使用了一種稱為光刻的技術(shù),并使用光敏有機物質(zhì)(光刻膠)在硅等基板上形成圖案的同時抽出電子電路。 清潔是這一過程中非常重要的過程之一。 清洗對象是基材上的有機物和金屬, 顆粒符合條件。 還使用了使用等離子體的干法,但就可靠性和易于處理而言,使用水作為介質(zhì)的濕法已成為清潔的主流。 在濕法中,在最后的漂洗階段使用了大量的超純水,但清洗介質(zhì)只是一種強大的化學(xué)溶液。 特別是硫酸絕緣(SPM:硫酸+過氧化氫/ 150°C)用于去除有機物。 這種化學(xué)溶液 雖然它具有很強的清潔能力,但在廢液處理和安全性方面存在問題,因此開發(fā)不使用化學(xué)品的清潔方法被認(rèn)為是一種夢想的技術(shù)。 微氣泡是直徑小于50μm的氣泡,其特征是在水中收縮并最終消失。 此時,通過氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時,大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基(?OH)的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強大的氧化劑之一,AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機廢水的技術(shù)1~4)。 自2000年左右以來,一些半導(dǎo)體公司一直在研究使用微氣泡進行半導(dǎo)體清潔。 然而,這是一次沒有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試,也沒有成功。 不。 因此,AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗。 * 郵箱 : m.taka@aist.go.jp 同時與許多公司和經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省等合作和支持。 氣泡是直徑小于50μm的氣泡。 它的特點是它在水中收縮并最終消失。 此時,通過氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時,大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基(?OH)的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強大的氧化劑之一,AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機廢水的技術(shù)。 1~4)。 在我們公司,自2000年左右以來,一些半導(dǎo)體公司一直在研究微氣泡發(fā)生系統(tǒng)的原型開發(fā)。 然而,這是一次沒有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試,也沒有成功。 不。 因此,AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗。 * 郵箱 : m.taka@aist.go.jp 同時與許多公司和經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省等合作和支持。 氣泡是直徑小于50μm的氣泡。 它的特點是它在水中收縮并最終消失。 此時,通過氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時,大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基(?OH)的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強大的氧化劑之一,AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機廢水的技術(shù)1~4)。 自2000年左右以來,一些半導(dǎo)體公司一直在研究使用微氣泡進行半導(dǎo)體清潔。 然而,這是一次沒有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試,也沒有成功。 不。 因此,AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗。 * 郵箱 : m.taka@aist.go.jp 同時與許多公司和經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省等合作和支持。 氣泡是直徑小于50μm的氣泡。 它的特點是它在水中收縮并最終消失。 此時,通過氣液界面的作用產(chǎn)生活性物質(zhì)。 特別是當(dāng)使用臭氧微氣泡時,大量的羥基 我們發(fā)現(xiàn)了產(chǎn)生自由基(?OH)的現(xiàn)象。 由于羥基自由基是強大的氧化劑之一,AIST已經(jīng)建立了一種使用它們有效處理持久性有機廢水的技術(shù)1~4)。 自2000年左右以來,一些半導(dǎo)體公司一直在研究使用微氣泡進行半導(dǎo)體清潔。 然而,這是一次沒有抓住邁克·羅布爾特征的嘗試,也沒有成功。 不。 因此,AIST利用其在廢水處理方面的經(jīng)驗*電子郵件:m.taka@aist.go.jp 同時獲得了許多公司和經(jīng)濟,貿(mào)易和工業(yè)部等的合作和支持。

      循環(huán)系統(tǒng)構(gòu)建的基本技術(shù)

      低溫恒溫液體循環(huán)系統(tǒng)

      熱模塊(帕爾貼)驅(qū)動系統(tǒng):PWM 驅(qū)動和模擬驅(qū)動系統(tǒng)

      溫度控制方式:PI控制或PID控制


      高溫液體循環(huán)系統(tǒng)

      加熱器控制器、鹵素加熱器控制器等

       

      PC控制多通道多肉機系統(tǒng)同時運行

      配備RS-485/8種編程內(nèi)部存儲器(溫度循環(huán)步數(shù):10步)

      image.png

      化學(xué)循環(huán)室

      適用循環(huán)液:純水(去離子水)/氫氟酸/氨水過氧化氫等。

      腔室材料:氟樹脂/石英玻璃/

      帕爾貼控制器/熱模塊控制器

      使用一臺 PC 控制多通道(最多 24 通道擴展)環(huán)行器系統(tǒng)


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流