氮化鋁中加工直孔 (t=450μm)技術分析
在Spectronics,我們也專注于直孔加工,以響應許多客戶對加工規格的要求。
作為皮秒激光微細加工的靶材,我們成功地在被認為比較厚的 450 μm 氮化鋁上鉆了一個幾乎直的孔。
雖然它仍處于開發階段的光學工具,但已被證明對無錐度加工有效。未來,我們希望進行驗證,以便將其用作生產工具。
加工驗證詳情
◇靶材
:氮化鋁(ALN) 厚度:450μm 顏色:淺棕色
◇二手激光振蕩器
LDH-G0610(532nm/15ps/6W@200kHz)
◇加工光學系統
原裝光束旋轉器和電掃描光學系統(f = 46mm)
理論光斑尺寸 Φ12.45μm
◇ 調整照射方式
相位角,將鉆孔后基材側的截面設置為直線狀
◇ 結果
照射側孔徑 181.97μm 出射
側孔徑 181.25μm
加工時間 56sec /孔洞
◇ 加工后樣圖
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