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日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機

訪問次數:828

更新日期:2024-03-24

簡要描述:

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K
用于等離子刻蝕和其他半導體應用的高容量熱電冷水機組

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K 實驗室冷水機
品牌其他品牌產地進口
冷卻方式水冷式儀器種類分體式

日本sscooling半導體冷水機組Nikola 3K/5K

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  • 我們專為半導體加工而設計的最高容量冷水機組

  • 3,000 或 5,000 瓦的冷卻能力

  • ±0.05°C 溫度穩定性/重復性

  • 兩種泵選項,流量高達 10 gpm,壓力高達 100+ psig

  • 減少晶圓間的變化,消除晶圓效應

  • 比基于壓縮機的冷水機組節能高達 80%

  • 采用熱電技術,可靠性高,維護成本低

  • 模塊化設計,易于維護

  • 消除氟利昂和其他有害制冷劑,符合新的環境法規

  • 使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑,如氟惰性或高登

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統

  • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等離子蝕刻、等離子灰分、計量、CMP 和其他工藝的解決方案

規格

工作范圍:
-10°C 至 80°C
環境溫度:
10°C 至 40°C 無冷凝
穩定性/可重復性:
恒定負載下± 0.05°C(即使在接近環境溫度時)
制冷量*:
尼古拉 3K:3000 瓦 @ 20°C(20°C 設施用水) 尼古拉 5K:5000 瓦 @ 20°C(20°C 設施用水)
冷卻液/工藝流體:
針對氟惰性/高登或HFE流體進行設置
提供可選的乙二醇/水配置
工藝流體接頭:
3/4“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
泵:
磁耦合渦輪機(高功率或高功率)
流量:
高達 10 加侖/分鐘(38 升/分鐘),流量和
壓力可調(10 至 100 psig)
油箱容積:
10 升(2.6 加侖),帶 2 個液位傳感器
設施用水:
25 升/分鐘(6 加侖/分鐘)@ 7-25°C 過濾,處理過的循環設施冷卻水,pH 6.5 至 8.2
設施水配件:
3/4“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
N2/CDA(必需):
500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2,
30-60 psig (2-4 bar),用于低溫操作
接液材料:
工藝:鋁,不銹鋼和聚合物設施
:密封硬質陽極氧化鋁
和不銹鋼
尺寸(寬 x 深 x 高):
22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸(56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米)
重量:
~300 磅(136 千克)干
電源輸入:
200-240 VAC 3 相,50/60 Hz,最大 20/30 A
斷路器:
20/30 安培 480 VAC 3 極,帶 GFCI
遠程EMO:
外部干接點
通信:
泛林, 應用材料公司, RS232, 其他
警報:
溫度、液位、系統或組件
故障(顯示、干接點和機器接口)
標準:
半 S2-0200,符合 F47 標準,CE
保證:
2 年



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