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thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5

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更新日期:2024-03-23

簡要描述:

thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5
【熱水熱CVD設備】小型高性能CVD設備是基礎研究的理想選擇

thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5
品牌其他品牌燃料電加熱鍋爐
結構形式立式出口壓力高壓

thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5

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納米爐模型。 BWS-納米

【熱水熱CVD設備】小型高性能CVD設備是基礎研究的理想選擇

  • 石墨烯、碳納米管

  • 氧化鋅納米線

  • 絕緣膜,如SiO2等

此外,它可以作為熱水型熱CVD裝置廣泛用于各種用途。


特征

  • 緊湊的系統可實現高質量的薄膜沉積實驗

  • 熱水式反應管內部均勻加熱

  • 4 個系統(用于 CH4、Ar、H2、起泡器) MFC 高精度流量控制:精度±1% F.S.

  • 帶電容壓力計的高精度APC壓力控制

  • 通過可選的實驗室視圖軟件進行遠程控制,數據分析

thermocera熱CVD設備納米爐BWS-NANO-2.5

原理圖規格

石英爐芯管尺寸Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 長12"
樣本量10 x 10毫米(2.5英寸)、100 x 100毫米(4英寸)
溫度控制PID編程溫度控制器
爐壓控制APC自動壓力控制
極限壓力5 x 10-3 托
真空計食人魚計,電容壓力計
真空泵旋轉泵
質量流量控制器0-50SCCM(CH4)
0-500sccm(Ar)
0-1000sccm(H2)
0-50sccm(用于起泡劑、酒精劑或無毒液前體)



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