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日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源 光學(xué)測量儀

訪問次數(shù):991

更新日期:2024-03-23

簡要描述:

日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。 光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn) 7,000 mW/cm² 或更高的高輸出。

日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源 光學(xué)測量儀
產(chǎn)品種類臺式數(shù)顯功能
溫控功能產(chǎn)地進(jìn)口

日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S


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用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。 光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn) 7,000 mW/cm2 或更高的高輸出。 它是加工厚膜抗蝕劑的理想選擇,這過去需要大量的加工時(shí)間。 此外,曝光處理時(shí)間可以大大減少,這極大地促進(jìn)了加工晶圓數(shù)量的增加。

日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S

規(guī)范

項(xiàng)目物質(zhì)
工作環(huán)境溫度5~40°C(無冷凝。 )
電源電壓單相 100~240V
工頻50/60赫茲
發(fā)射峰值波長365±5納米
光輸出穩(wěn)定性±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度2000mW/c㎡以上(AT365nm,距掩模0.5mm)
強(qiáng)度分布的均勻性10%以下(4×5mm面積)
紫外光源紫外發(fā)光二極管
紫外光源壽命20000 小時(shí)(估計(jì)使用壽命,最大驅(qū)動電流) *初始階段UV強(qiáng)度為50%或更高的照明積分時(shí)間
照射開/關(guān)功能紫外線 LED 開/關(guān)控制 (通過遠(yuǎn)程和手動控制打開/關(guān)閉)
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能UV-LED電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)調(diào)節(jié)范圍 20~100%
外飾材料不銹的
外部尺寸150(寬)×200(深)×192(高)毫米


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