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更新日期:2024-03-23
簡要描述:
日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。 光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn) 7,000 mW/cm² 或更高的高輸出。
產(chǎn)品種類 | 臺式 | 數(shù)顯功能 | 有 |
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溫控功能 | 有 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。 光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn) 7,000 mW/cm2 或更高的高輸出。 它是加工厚膜抗蝕劑的理想選擇,這過去需要大量的加工時(shí)間。 此外,曝光處理時(shí)間可以大大減少,這極大地促進(jìn)了加工晶圓數(shù)量的增加。
日本ARK高輸出型晶圓外圍曝光UV-LED光源EW04S
項(xiàng)目 | 物質(zhì) |
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工作環(huán)境溫度 | 5~40°C(無冷凝。 ) |
電源電壓 | 單相 100~240V |
工頻 | 50/60赫茲 |
發(fā)射峰值波長 | 365±5納米 |
光輸出穩(wěn)定性 | ±5%以內(nèi) |
初始紫外線強(qiáng)度 | 2000mW/c㎡以上(AT365nm,距掩模0.5mm) |
強(qiáng)度分布的均勻性 | 10%以下(4×5mm面積) |
紫外光源 | 紫外發(fā)光二極管 |
紫外光源壽命 | 20000 小時(shí)(估計(jì)使用壽命,最大驅(qū)動電流) *初始階段UV強(qiáng)度為50%或更高的照明積分時(shí)間 |
照射開/關(guān)功能 | 紫外線 LED 開/關(guān)控制 (通過遠(yuǎn)程和手動控制打開/關(guān)閉) |
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能 | UV-LED電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)調(diào)節(jié)范圍 20~100% |
外飾材料 | 不銹的 |
外部尺寸 | 150(寬)×200(深)×192(高)毫米 |