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臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

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更新日期:2024-03-20

簡要描述:

日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
實現高測量重復性(± 0.01 μm 或更小,取決于對象和測量條件)
不易受溫度變化的影響
可以生產用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側進行測量
僅可測量透明涂膜層(取決于測量條件)

臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
類型數字式測量范圍1

日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S


產品特點
  • 實現高測量重復性(± 0.01 μm 或更小,取決于對象和測量條件)

  • 不易受溫度變化的影響

  • 可以生產用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。

  • 反射型允許從薄膜的一側進行測量

  • 僅可測量透明涂膜層(取決于測量條件)

  • 模型飛行時間
    測量方法非接觸式/光譜干涉式
    測量對象電子和光學用透明平滑膜、多層膜
    測量原理光譜干擾型

    日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S

  • 產品規格
    測量厚度1~50μm(薄材料)、10~150μm(厚材料)    
    測量長度50-5000 毫米
    測量間距1 毫米 ~
    小顯示值0.001微米
    電源電壓AC100 V 50/60 Hz
    工作溫度限制5~45℃(測量時溫度變化1℃以內)
    濕度35-80%(無冷凝)
    測量區域φ0.6 毫米
    測量間隙約 30 毫米


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