低壓力損失金屬氣體過濾器

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更新日期：2024-03-19

簡(jiǎn)要描述：

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時(shí)具備較高的耐熱性能。

用途	過濾雜質(zhì)

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物，同時(shí)具備較高的耐熱性能。
使用氮?dú)猓∟2）輸入，當(dāng)過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時(shí)，輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
固定或脈動(dòng)方式下過濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm，實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

規(guī)格

過濾精度	0.003μm
推薦流量	10～100?/min（各型號(hào)區(qū)別：參考流量特性曲線)
高使用壓力	0.98MPa(142PSIG) at20℃
容許差壓	0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
高使用溫度	460℃
外部泄漏量	2×10^-11Pa?m³/sec以下
構(gòu)成材料	外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L　內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件	1/4"Gasket seal、其它