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內置式陶瓷氣體過濾器

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更新日期：2024-03-19

簡要描述：

日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說，管道系統的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器，從而實現了具有長久穩定狀態的0.003μm的高過濾精度。

內置式陶瓷氣體過濾器
用途過濾雜質

日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

 

  • 高過濾精度
    在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說，管道系統的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器，從而實現了具有長久穩定狀態的0.003μm的高過濾精度。
  • 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
    在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。
  • 零維護實現成本削減
    能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構，因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失，并可長期持續地削減成本。

日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

規格

 

過濾精度0.003μm（但是，純水過濾時は0.1μm）
推薦流量10～200?/min（各型號區別：參考流量特性曲線)
設計壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據日本國內的高壓氣體保安法，高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品，請詢問我們。
常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
容許差壓9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
高連續使用溫度120℃
烘烤溫度200℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構成材料外罩：SUS316L　內表面粗糙度：Rmax0.7μm以下　元素：氧化鋁陶瓷(Al2O3)　 密封圈：PTFE
連接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4"　Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它

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