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日本sanyu electron臺式快速涂布機

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更新日期:2024-03-19

簡要描述:

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ
支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備。
使用磁控管陰極
內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制

日本sanyu electron臺式快速涂布機
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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ


特征


  • 支持W(鎢)/ Ni(鎳)/ Cr(鉻)/ Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備。

  • 使用磁控管陰極

  • 內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制

  • 操作方式為全自動/手動兩種模式

  • 標配自動快門機構

應用/結果示例


  • W / Ni / Cr / Ti等的成膜

  • 燃料電池基礎實驗

日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ

基本規格


陰極φ2英寸磁控管陰極
快門機制自動/手動操作
氣體導入機制針閥(自動/手動控制)
真空泵直連式旋轉泵:100l / min(有自動泄漏)
箱體尺寸內徑φ160mmx D160mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)機身:
360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm
重量身體:20公斤
RP:23公斤


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