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更新日期:2024-03-18
簡要描述:
日本horiba非接觸式化學濃度監測儀CS-900下一代濕法HORIBA通過控制化學藥品濃度來提高產量并優化工藝。為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制,我們實現了滿足現場需求的z佳功能,例如穩定的測量精度,考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。
品牌 | 其他品牌 | 儀器種類 | 便攜式 |
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產地 | 進口 |
日本horiba非接觸式化學濃度監測儀CS-900
為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制,我們實現了滿足現場需求的z佳功能,例如穩定的測量精度,考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。
外部直接連接到PFA管道的*傳感器結構消除了污染的風險。此外,它消除了安裝傳感器時的管道工作需求,并消除了化學泄漏等事故的風險。此外,通過更新傳感器的光學系統,我們實現了小型化,同時保持了與常規產品(CS-600F * 1)相同的可重復性和穩定性。
高質量和穩定的測量
Contami風險為“零"
重現性和穩定性相當于傳統產品CS-600F * 1
糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數變化
采用HORIBA獨chuang的算法來糾正氣泡的影響
抑制振動效果
采用HORIBA獨chuang的光學系統結構,可防止管道固定和未對準
節省空間
將光源和光譜儀集成到電池單元中
顯示器使用面板安裝類型(9.6厘米x 9.6厘米)
延長光源壽命
采用LED燈,使用壽命更長(5年保修)
改善工作安全
半年一次的BG校正周期
由于安裝傳感器時無需安裝管道,因此降低了發生化學泄漏等事故的風險。
* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學濃度監測儀。
■穩定性
測量條件
測量周期:每3秒測量時間:1小時
移動平均值:16次溫度:室溫管徑:3/4英寸
樣品濃度(在測量開始時)
NH 3:0.95%H 2 O 2:5.15%H 2 O :93.9%
測量結果作為
樣品(實際溶液)的1小時的測量結果,顯示出良好的穩定性。
日本horiba非接觸式化學濃度監測儀CS-900
產品名稱 | 非接觸式化學濃度監測儀CS-900 | ||||
模型 | CS-900 | ||||
測量原理 | 吸收光譜 | ||||
濃度計算方法 | 溫度補償多元分析方法 | ||||
測量范圍/ | 型號名稱 | 成分名稱 | 測量范圍 | 重現精度 | 模擬量輸出范圍 |
CS-900-1P-1P25P5 | NH 3 | 0.00%-1.20% | ±0.05% | 0.00-10.00 | |
H 2 O 2 | 0.00%-5.50% | ±0.10% | 0.00-10.00 | ||
高氧2 | 93.3%-100.0% | ±1.0% | --- | ||
CS-900-1P-P8P8 | NH 3 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | |
H 2 O 2 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
高氧2 | 98.4%-99.6% | ±0.3% | --- | ||
測量條件 | 1)測量周期:大約3秒 | ||||
管道* 1 | PFA管道1英寸或3/4英寸 | ||||
樣品溶液條件* 2 | 化學溶液溫度:20-80°C化學 | ||||
電源供應 | DC24V | ||||
消耗功率* 3 | 約30W | ||||
大眾 | 顯示:約0.9Kg | ||||
外形尺寸(寬x深x高) | 顯示:96 x 135 x 96 mm | ||||
傳感器單元安裝角度 | 前后方向:±3度以內,左右方向:0-90度 | ||||
光源壽命 | 5年 | ||||
通訊 | 并行I / O,RS-232C,模擬輸出 |