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日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

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更新日期:2024-03-17

簡(jiǎn)要描述:

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。
高速計(jì)算由我們獨(dú)chuang的主動(dòng)隔振算法執(zhí)行,而振動(dòng)立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。

高速計(jì)算由我們獨(dú)chuang的主動(dòng)隔振算法執(zhí)行,而振動(dòng)立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

我們地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器,并通過前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時(shí),還可以在短時(shí)間內(nèi)同時(shí)衰減由安裝臺(tái)的激振力施加的振動(dòng)。

配備舞臺(tái)前饋功能和波形顯示軟件作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

特點(diǎn)

  • 振動(dòng)傳遞特性無共振。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
  • 具有6個(gè)自由度的高精度位置控制始終可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
  • 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥,以應(yīng)對(duì)較大的移動(dòng)負(fù)載。
  • 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。(控制器SAC-07)
  • 標(biāo)配臺(tái)前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。

用途

  • 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中,它被用作對(duì)付需要精細(xì)處理的晶片上的振動(dòng)的對(duì)策,并且被用作對(duì)付晶片移動(dòng)臺(tái)上的振動(dòng)的對(duì)策。
  • 在液晶制造和檢查設(shè)備中,其目的是在龍門架或工作臺(tái)顯著移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng),并立即對(duì)其進(jìn)行檢查或糾正,這有助于縮短節(jié)拍時(shí)間。
  • 在超精密機(jī)床中,它用于消除工作臺(tái)上的振動(dòng)以進(jìn)行精密加工,同時(shí)支持大載荷的運(yùn)動(dòng)。

日本昭和SSC主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

規(guī)范

模型可安裝質(zhì)量(1個(gè)單位)尺寸(1個(gè)單位)
VAAV-550A270-900公斤215(寬)x 160(深)x 170(高)毫米
VAAV-1000A500-1700公斤225(寬)x 210(深)x 170(高)毫米
VAAV-2200A1100-3700公斤280(寬)x 240(深)x 208(高)mm
VAAV-4000A2100-7000公斤330(W)x 270(D)x 208(H)毫米
VAAV-10000A5000-17000公斤465(寬)x 400(深)x 240(高)mm
VAAV-20000A11400-38000公斤600(W)x 600(D)x 284(H)毫米
VAAV-30000A15000-50000公斤700(W)x 700(D)x 182(H)毫米
HA-450水平執(zhí)行器480(寬)x 365(深)x 405(高)毫米
 

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